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真空系統(tǒng)工作原理
日期：2025-06-05 21:02
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摘要：
真空系統(tǒng)是由真空泵、PLC程序控制系統(tǒng)、儲氣罐、真空管道、真空閥門、境外過濾總成等組成的成套真空系統(tǒng)。目前，該系統(tǒng)應用于電子半導體業(yè)、光電背光模組、機械加工等行業(yè)。真空系統(tǒng)出廠時已經包括了抽速控制、進氣過濾、主要運行數(shù)據(jù)顯示、運行保護及遠程控制接口等。只需要在現(xiàn)場進行簡單的連接電源和管道,即可以組成一個完整的真空系統(tǒng)。該真空系統(tǒng)的控制系統(tǒng)由的PLC控制系統(tǒng)經過編程后組成,以觸摸屏為人機界面,實現(xiàn)對真空系統(tǒng)、工件行走、磁控靶、工藝設定和執(zhí)行、報警保護系統(tǒng)等的全自動化控制。
真空系統(tǒng)工作原理；
啟動系統(tǒng)，主真空泵組開始工作，直到真空罐內真空度達到設定的上限值，真空泵自動停止運行，中央真空系統(tǒng)內的真空由管路上的真空止回閥自動截止而得到維持。如因工作需求真空罐內真空度下降并低于設定的下限值時，備用真空泵組自動啟動。由此循環(huán)往復，真空系統(tǒng)的真空度能夠維持穩(wěn)定的真空源，滿足生產的要求。
