無油渦旋真空泵

一、引言 

      渦旋的概念相當久遠，20世紀初上就已經(jīng)有了渦旋的。但由于當時水平的限制，渦旋機構制造不出來，渦旋的概念也就被淡忘了。1973年渦旋機構被重新提起并制造出臺模型機構，使這項實際應用成為可能。渦旋機構的可性高、運行平穩(wěn)、噪音極低、節(jié)省能源等潛力和優(yōu)勢馬上引起了冰箱行業(yè)的重視和迫切需求，大受行業(yè)者青睞，迅速被投入工業(yè)化應用。Trance、Hitachi、Copland等公司的渦旋壓縮機與產(chǎn)品**了渦旋實用化的浪潮，帶動了如冰箱、空調(diào)等諸多行業(yè)的進步和產(chǎn)品的更新。 

      今天渦旋已經(jīng)由初期的應用在壓縮機行業(yè)推廣到真空泵制造業(yè)，實現(xiàn)了全無油、運行更平穩(wěn)、噪音更低、更加節(jié)省能源的渦旋清潔真空獲得的實用化。人們應用渦旋概念與原理制造出了對真空應用儀器設備和環(huán)境沒有污染,并且抽速、壽命、能耗等指標均普通油泵的單級、雙級無油渦旋真空泵系列產(chǎn)品。 

      上個世紀90年代初，上首臺渦旋真空泵推向市場，渦旋由此開始作為一種真空獲得在范圍內(nèi)被推廣應用。到目前為止，上渦旋真空泵的生產(chǎn)廠家集中在、和歐洲，以的Anestta、的Varian、的Busch等為代表。產(chǎn)品包括了自0.25L/S到10L/S系列產(chǎn)品，有些15L/S或更大抽氣量的產(chǎn)品也在試驗階段。 

二、無油渦旋真空泵的特點與應用 

      清潔的真空環(huán)境一直是科學家和企業(yè)界追求的理想真空環(huán)境.自能夠創(chuàng)造真空環(huán)境開始,人們就試圖采用不同手段達到清潔真空的效果.時至今日,清潔真空獲得設備已經(jīng)發(fā)展到冷凝泵、住賽泵、爪式泵、渦旋泵以及隔膜泵等多種產(chǎn)品.在現(xiàn)有的無油真空泵當中,無油渦旋真空泵與其他種類的無油真空泵相比具有下述特點: 

①.無油，無摩擦——真空腔內(nèi)無油，非接觸，無磨損，不產(chǎn)生微粒塵埃污染，可獲得清潔真空；
②.抽氣量大——雙渦旋盤，結構與單級相比相同直徑泵抽氣容積為2倍，節(jié)省能源； 
③.抽氣效率高——帶有3-4個抽氣單元，壓差??；大氣與真空之間由O型圈密封，泄漏低； 
④.非接觸,良好平衡,力矩影響小，噪音低，振動小； 
⑤.結構簡單緊湊，相同尺寸下，運動半徑小，運行平穩(wěn)； 
⑥.體積小，維修方便，維護費用低； 
⑦.采用空氣冷卻，無需水冷。 

目前無油渦旋真空泵的應用為: 

①.半導體行業(yè)——薄膜制備設備、半導體器件封裝設備； 
②.科學儀器行業(yè)——同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測試儀器； 
③.機械設備行業(yè)——材料制備設備、真空檢測、材料提純設備； 
④.化學工業(yè)； 
⑤．醫(yī)療設備——牙科儀器、透析機、生物制品與藥品制備； 
⑥．包裝行業(yè)——食品、藥品、生物制品等包裝設備。

      為解決我國科學研究和新材料、半導體等行業(yè)發(fā)展面臨的手段存在的基礎、共性問題，近年來已經(jīng)不斷有業(yè)內(nèi)專家向介紹渦旋無油真空泵及其發(fā)展現(xiàn)狀，渦旋無油真空泵生產(chǎn)廠家與代理對市場的使其在市場的銷量在逐年增長。真空行業(yè)相關企業(yè)也開展了基礎、應用研究及小規(guī)模試制無油渦旋真空泵生產(chǎn)等不同階段的探索，只是由于基礎、激勵機制、手段、資金投入的限制，工作進展不是快。產(chǎn)量、穩(wěn)定可性、以及推廣與市場開拓規(guī)劃、原則、手段等也是問題。因此無油渦旋真空泵系列產(chǎn)品下一步產(chǎn)業(yè)化與市場是企業(yè)必須解決的兩大問題。隨著手段、資金投入、市場開拓問題的解決，無油渦旋真空泵將會打開市場，從而提高整個真空獲得行業(yè)的水平。成功的無油渦旋真空泵系列產(chǎn)品與市場模式也將為我國其他清潔真空獲得設備如冷凝泵、柱塞泵、爪式泵以及隔膜泵等提供的借鑒。